晶圓減薄機是半導體制造所需重要設備之一,是指用于實現晶圓切割與研磨功能的機械設備,適用于半導體硅片、電氣元器件、光伏電池、功率器件等加工場景,一般由粗磨系統、精磨系統、承片臺、機械手、料籃、定位盤、回轉工作臺等部分組成。
晶圓減薄是半導體制造后道工序中的重要環節之一,是指在集成電路封裝之前,將晶圓背后多余基體材料去除一定厚度的環節,主要發揮著降低后續封裝貼裝難度、提高芯片散熱效率、減少芯片內部應力、提高芯片電氣性能、滿足晶片尺寸精度要求等作用。晶圓減薄機是實現晶圓減薄工藝的關鍵設備,伴隨著半導體產業快速發展,其市場呈現出穩步擴張態勢。
根據產業研究中心發布的《2023-2028年晶圓減薄機行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示,2022年全球半導體市場規模已達6435.8億美元,同比增長14.5%。電子信息產業的蓬勃發展帶動半導體及相關設備市場規模不斷擴大,晶圓減薄機作為半導體后道工序設備之一,其市場隨之快速發展。2022年全球晶圓減薄機市場規模已達9.4億美元,同比增長18.8%。
全球晶圓減薄機領先企業主要集中在歐洲與日本地區,包括日本DISCO(迪斯科)、日本TOKYO SEIMITSU(東京精密)、日本KOYO SEIKO(光洋精工)、德國G&N(紐倫堡精密機械)等。其中日本DISCO與TOKYO SEIMITSU憑借著技術、服務優勢已成為全球晶圓減薄機市場龍頭企業,2022年兩家企業合計市占比已超65%,市場集中度較高。
從中國市場來看,我國晶圓減薄機行業起步時間較晚,長期以來,國內市場一直由國際領先企業占據主導,國產化程度較低。但近年來,在全球半導體產業向中國轉移趨勢不斷加深背景下,本土企業正積極加大晶圓減薄機研發力度。截至目前,國內晶圓減薄機已有多項先進研究成果問世并進入商業化應用,例如,2019年,方達獨立自主研發第一代“全自動晶圓減薄設備”,替代了國外進口,填補了國內空白;2021年10月,華海清科研發的首臺12英寸超精密晶圓減薄機已正式出機;2022年4月,夢啟半導體裝備自主研發的全自動晶圓減薄機量產交付。
行業分析人士表示,近年來,隨著本土企業研發進程不斷加快,國內晶圓減薄機市場國產化率正不斷提升,行業展現出良好發展趨勢。但國產晶圓減薄機與國際領先企業相比,在技術、性能、加工精度等方面仍有較大差距,未來本土企業還需持續加大研發力度。
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